表面技術 第71巻 10号 の『小特集：光学部品への表面処理』に解説記事「膜応力による基板の反りの定量的計算について」が掲載されました。
一般社団法人表面技術協会ホームページリンク先はこちらです。
解説記事 : 膜応力による基板の反りの定量的計算について (ページ 601-606)
市場から求められる光学薄膜への要求仕様が年々高くなる中、膜の機械的な性質の重要性も増しています。
本稿では膜応力に関する基本的な解説と、最近当社で考案した表題のシミュレーション技術について紹介しています。
表面技術 第71巻 10号 の『小特集：光学部品への表面処理』に解説記事「膜応力による基板の反りの定量的計算について」が掲載されました。
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市場から求められる光学薄膜への要求仕様が年々高くなる中、膜の機械的な性質の重要性も増しています。
本稿では膜応力に関する基本的な解説と、最近当社で考案した表題のシミュレーション技術について紹介しています。